德國普發(fā)Pfeiffer磁懸浮渦輪分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M：抽速范圍在300-800l/s的緊湊型磁懸浮渦輪分子泵。HiPace M和ATH 500 M擁有5軸磁軸承。動(dòng)平衡裝置會(huì)進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)，Pfeiffer磁懸浮渦輪分子泵可以最小程度上減輕震動(dòng)和工藝過程中產(chǎn)生的軸承位移。低能耗和極低的維護(hù)成本確保了其極高的性價(jià)比。
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
1.磁懸浮渦輪分子泵任意角度安裝;2.集成控制器;3.清潔無油;4.高氣體流量;5.低震動(dòng)及低磁場干擾6.磁懸浮渦輪分子泵動(dòng)平衡自動(dòng)補(bǔ)償;7.轉(zhuǎn)速范圍大.
Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M技術(shù)參數(shù)：
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分子泵型號
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分子泵連接尺寸 DN
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抽速 l/s
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壓縮比
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最高啟動(dòng)壓強(qiáng)hPa
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極限壓力
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全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s
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啟動(dòng)時(shí)間
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重量
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進(jìn)氣口
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排氣口
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氮?dú)?/span>
N2
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氦氣He
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氫氣 H2
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氮?dú)?/span>
N2
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氮?dú)?/span>N2
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hPa
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氮?dú)?/span>N2
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min
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kg
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HiPace 300 M
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100
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16
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255
|
215
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170
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> 1X1011
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20
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< 1X10–7
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28
|
2
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13.1 – 17.2
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ATH 500 M
ATH 500 MT
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160
|
25
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550
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390
|
190
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> 2X107
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2.6
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< 1X10–8
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67
|
2
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17 – 18
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HiPace 700 M
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160
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25
|
685
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600
|
480
|
> 1X101
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8
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< 1X10–7
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13
|
4
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15.7 – 20.8
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HiPace 800 M
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200
|
25
|
790
|
625
|
500
|
> 1X101
|
8
|
< 1X10–7
|
13
|
4
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17.1 – 21.5
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