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離子源對接裝置

簡介：客戶某研究機構，用于離子實驗，離子源腔體和靶腔體全部采用金屬密封，空載真空小于9x10-5Pa；常開腔體部分采用金屬密封，空載真空小于9x10-4Pa腔體底部打定位孔；腔體外表面機械拋光，內表面電化學拋光；離子源腔體尺寸500*300*200；靶腔體尺寸900*200*200；常開腔體為CF100異形四通。離子源能通過一維推桿，從常開腔體推送到離子源腔體，相對位置自動對接，電極自動對接，實驗時，推桿需退出離子源腔體（不包括離子源），完成試驗后將離子源從離子源腔體取出。