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簡介：客戶某研究機構，該真空泵組主要用于對已有的腔室進行抽真空。系統(tǒng)前級泵為油泵，移動方便。系統(tǒng)主要由三部分組成，主要包括前級油泵、分子泵以及真空測量顯示單元；進口分子泵抽速：>280L/s(N2), >300L/s(H2):極限真空：<8E-6Pa(ISO接口)/5E-8Pa(CF接口)，采用風冷系列；進口前級油泵：>15m3/h,極限真空度：<3E-lPa；系統(tǒng)包括相應的進口真空規(guī)和真空計；通過KF接頭、卡箍和波紋管等實現泵組的連接；配置CF100轉CF63的法蘭轉接頭，1米長CF63波紋管。