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控制系統為分布式集中控制系統,網絡結構采用星形網絡與現場總線相結合的網絡結構,這樣既保障了系統控制的集中性,又提高了設備之間數據傳輸的準確性。系統結構分為三層:第一層為中央計算機系統,第二層為現場控制單元(PLC),第三層為真空規、閘板閥、分子泵、前級泵等采集設備與電動執行機構。
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