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簡(jiǎn)介：客戶(hù)研究機(jī)構(gòu)，用于真空加熱，腔體材料采用 304 不銹加工，腔體包含接口為： 1 個(gè) 1/2卡套接口（針閥）， 2個(gè)1/4VCR接口（針閥），一個(gè)CF63觀察窗（頂部），一個(gè)CF63電極法蘭/盲板（底部），腔體內(nèi)部空間尺寸Φ63*90mm，加熱：采用微型陶瓷加熱片，來(lái)實(shí)現(xiàn)加熱 200℃。波紋管密封閥選用swagelok不銹鋼波紋管密封閥門(mén)，該閥門(mén)在315°C 下耐壓27.5Bar。并且按照SCS-00020 進(jìn)行氦氣泄漏測(cè)試，漏率4E-9stdcm3/s。