半導體行業
半導體行業生產基于半導體材料的微電子元件和組件。自數字時代以來，許多行業及其各自產品領域對微芯片的需求大幅增加。為了滿足這一趨勢，大型芯片制造商正在工藝窗口中實施更強大和小型化的芯片架構，有時達到技術可行性的極限。除了高科技生產工藝外，在工藝和供應鏈中的潔凈室條件下不斷保持質量和清潔度是另一個重大挑戰。成熟的制造工藝（如EUV和DUV）以及具有前瞻性的技術（如High-NA）可滿足工藝真空和所用真空零件和組件清潔度的不同要求。
VACOM配備了各種真空技術產品，根據VACOM純度等級®使用EUV程序的公司的主要供應商。高精度制造的真空組件和部件符合行業對薄膜和顆粒表面清潔度以及低除氣率的要求。
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亮點產品：
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