 n 從 ATM 到 UHV 的 寬范圍壓力測量
n 可在高達 5X10-3mbar的高壓下進行氣體分析·
n 氦氣泄漏檢測，無需額外儀器
n 探測氣體成分
(分壓n 從 ATM 到 UHV 的 寬范圍壓力測量
n 可在高達 5X10-3的高壓下進行氣體分析·
n 氦氣泄漏檢測，無需額外儀器
n 探測氣體成分
(分壓 H2, H2O, N2, O₂, CO₂ 等.)
n 高達 200 ms 的高采樣率
頻至0~300 amu
n 氫氣檢測無干擾（無零爆炸效應）
n 重碳氫化合物檢測（真空質量監測）
H2, H2O, N2, O₂, CO₂ 等.)
n 高達 200 ms 的高采樣率
頻至0~300 amu
n 氫氣檢測無干擾（無零爆炸效應）
n 重碳氫化合物檢測（真空質量監測）
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